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上传时间: 2021-02-13
详细说明：可调支撑装置是高精度光学元件的常用支撑结构。分析了可调支撑装置支撑力调节对光学元件面形的影响规律。建立可调支撑装置的力学模型，利用有限元法计算光学元件的变形，并对光学元件面形进行Zernike 多项式拟合。不同工况下分析结果表明：均匀支撑时光学元件面形均方根(RMS)最小，可调支撑力变化时，引入的光学元件面形RMS 以及主要Zernike 多项式系数均与支撑力线性相关，与光学元件的初始支撑状态无关。建立FringeZernike 系数随任意支撑力变化的敏感度矩阵，采用该矩阵预测随机工况下光学元件支撑力调整后面形，预测调节面形与有限元仿真调节面形基本一致，RMS 误差优于0.3%，为可调支撑装置
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