文件名称:
低空间频率组合计算全息元件检测深度非球面
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上传时间: 2021-02-13
详细说明：计算全息元件(CGH)可实现光学非球面的零位干涉高精度检测，但深度非球面的非球面度以及非球面度梯度均较大，使检测所需CGH的局部空间频率偏大，加工困难。提出一种用组合CGH检测深度非球面的方法，该方法通过组合两个低空间频率CGH，实现深度非球面检测时所需的单个高空间频率CGH的功能。由一维线性光栅模型推导组合CGH与传统单个CGH空间频率的关系，并由此给出组合CGH初始相位，逐步优化可求得最佳相位。以最大非球面度193.434 μm、最大非球面度梯度75.788 μm/mm的深度非球面为测试样例，设计了单个CGH和组合CGH，残留波前误差均小于λ/250，组合CGH最大空间频率约为单个CGH的50%。设计了辅助装调CGH减小装调误差的影响，并分析了组合CGH之间俯仰倾斜偏差、中心偏差以及轴向定位偏差对检测精度的影响。
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