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多孔硅表面缺陷光子晶体的传感模型及特性
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：提出了多孔硅表面缺陷光子晶体结构，引入多孔硅敏感层及吸收介质层形成表面缺陷腔，利用多孔硅高效的承载机制，将其作为待测样本的传感区域；由于吸收介质ZnS对谐振波长的吸收，可在反射光谱中获得与谐振波长对应的缺陷峰。以多孔硅的厚度为被优化变量，利用反向传播神经网络进行结构参数优化获得多孔硅的厚度最优值。由Goos-Hanchen位移建立待测样本浓度与缺陷峰波长的关系模型，进而对该结构进行传感特性分析。结果表明，优化结构参数后，缺陷峰对应的反射率由31.23%下降到0.00129%，其Q 值可达1537.37。在传感特性研究中，每1%质量分数的灵敏度为2.5 nm。该表面缺陷光子晶体传感结构可为样本浓
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