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上传时间: 2021-02-12
详细说明：利用考夫曼离子源辅助电子束蒸发(IBAD)在K9 玻璃上制备了HfOsub>2 薄膜。采用DX-2000 型X 射线衍射仪(XRD)对薄膜晶体结构进行分析得知制备的薄膜呈现单斜晶相结构。采用SE850 宽谱变角度反射式光谱型椭偏仪对薄膜在280~2500 nm 波段的椭偏参数进行测量，光谱拟合中考虑了界面层和表面粗糙层，分别采用Cauchy 模型、Tauc-Lorentz 模型、Forouhi-Bloomer 模型、Sellmeier-Transparent 模型进行分析，得到薄膜紫外至近红外波段光学参数。椭偏拟合结果表明Tauc-Lorentz 模型最符合HfO
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