文件名称:
小F数标准球波面透镜组的F′C重合误差分析
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文件大小: 688kb
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：标准球波面透镜组是光干涉计量测试凸、凹球面面形质量的重要测量器具,它能产生P-V值优于λ/20(λ=0.6328 μm)的标准球面波,透镜组中末球面为标准球面。其使用特点要求透镜组的焦点F′与末面球心C重合;如果存在重合误差,则用于球面面形检验时会引入测量系统误差。推导分析了F′C的允许重合误差与透镜组F数等参量的关系,运用ZEMAX光学设计软件模拟给出系列小F数标准球波面透镜组允许的F′C重合误差,并设计实验测试方案,得到反映标准球波面透镜组F′C重合误差的干涉图,它们的波像差均小于5λ。由理论分析与实验测试结果可知,F数很小(如F/1.5,F/0.75)的标准球面透镜组,F′C重合误差小于
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