文件名称:
基底温度对直流磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响
开发工具:
文件大小: 3mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-12
详细说明：采用直流磁控溅射工艺，使用掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶，在玻璃基底上制备出具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜。运用共焦显微拉曼光谱仪对AZO陶瓷靶的微结构进行了表征，对在不同基底温度下沉积出来的薄膜运用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外可见光分光光度计和四探针测试仪等分别进行了结构和光电特性的表征。结果表明，随着基底温度的升高，AZO薄膜的晶粒逐渐增大，c轴择优取向加强，结晶状况变好；AZO薄膜的吸收边发生蓝移，折射率降低，而薄膜厚度则有所增加，光学禁带宽度增大；AZO薄膜的电阻率降低，但在基底温度达到350 ℃后电阻率就趋于稳定。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
