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一种基于白光迈克耳孙干涉仪波片延迟量的测量方法
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文件大小: 3mb
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：将白光偏振干涉和迈克耳孙干涉仪相结合，提出了一种利用空间白光干涉图测量波片延迟量（包括级次信息）的方法。白光偏振干涉系统产生两束振动方向相同的线偏光，进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射，并两两干涉，在空间形成3组白光干涉包络。当被测件为多级波片时，根据白光干涉包络之间的光程差就可求得被测延迟量；当被测件为低级次波片时，利用白光干涉信号相位的改变量计算出延迟量的值。实验分别测量了多级波片和零级全波片的延迟量，其结果与使用光谱扫描法测量得到的结果均相吻合。
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