文件名称:
用于发散激光光束整形的自由曲面透镜设计
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文件大小: 12mb
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：提出了一种激光光束整形自由曲面透镜的设计方法，这种方法可以对有一定发散角的激光光束进行整形。设计分为两个过程：1）设计初始结构，以准直激光光束作为输入光束，采用能量网格划分法，设计自由曲面整形透镜，将设计好的透镜作为下一步设计的初始结构；2）逆向反馈优化法，以带有一定发散角的光束作为输入光束，用上一步获得的透镜作为初始结构，采用逆向反馈优化的方法作进一步优化设计。应用这种方法，以束腰为10 mm，发散半角为2.5°的发散激光光束为例，将其整形为40 mm×40 mm的方形光束，辐射照度均匀度达到了90.4%。最后，对设计的透镜进行了加工误差分析和安装误差分析。分析结果表明：透镜表面面形误差在±5 μm范围内对目标平面辐射照度的均匀度几乎没有影响；透镜安装时，纵向位移误差dz对目标平面辐射照度的均匀度影响较小，横向误差dx、倾斜角误差dφ对辐射照度均匀度影响较大。
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