文件名称:
用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估
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文件大小: 4mb
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：计算全息图（CGH）作为零位补偿器，越来越广泛地应用于高精度非球面检测领域。CGH的设计、编码、加工和装调等误差，直接限制了非球面的检测精度。提出一种切实可行的检测非球面的流程与方法，完成了对CGH基底的标定、参考镜的绝对标定和CGH的畸变校正，实现对非球面的高精度检测。除了采用传统的平方根之和(RSS)误差合成分析方法外，还通过与无像差点法测量结果的对比，从实验上获得了此方法的测量精度。实验结果表明，利用CGH对非球面进行检测的精度可以达到3.9 nm[均方根(RMS)值]。
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