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上传时间: 2021-02-11
详细说明：硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽，便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中，但是其作为基底，镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度，尤其是牢固度的问题。根据任务要求研制的增透膜是在3.5～3.9 μm的中波红外波段及9～12 μm的长波红外波段，平均透射率大于90%。由于长波红外区可选用的宽透射区材料较少，所以兼顾材料的选用、光谱特性及可靠性满足使用要求等几方面考虑，最终采用氟化钇(YF3)作为低折射率材料，经过多次实验，采用混蒸、离子辅助等工艺方法以及选取合适的基底温度，通过对其他工艺环节的不断改进，解决了在ZnS透镜上镀制宽带增透膜，由YF3膜层严重的应力作用而导致膜层龟裂的问题，最终研制成功符合使用要求，并且可靠性和光谱特性皆优的中长波红外增透膜。
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