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文件名称: 实时灰阶掩膜技术制作微透镜列阵
  所属分类: 其它
  开发工具:
  文件大小: 692kb
  下载次数: 0
  上传时间: 2021-02-11
  提 供 者: weixin_********
 详细说明:提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术,它将液晶显示(LCD)系统和投影光刻系统相结合,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录,给出了原理分析。基于部分相干光成像理论,进行了微透镜制作的计算机模拟。建立了实验装置,并采用全色卤化银明胶(Kodak131)通过酶刻蚀得到半径为59.33 μm,深为1.638 μm的56×48微透镜列阵。
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