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上传时间: 2021-02-11
详细说明：提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术，它将液晶显示(LCD)系统和投影光刻系统相结合，利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录，给出了原理分析。基于部分相干光成像理论，进行了微透镜制作的计算机模拟。建立了实验装置,并采用全色卤化银明胶(Kodak131)通过酶刻蚀得到半径为59.33 μm，深为1.638 μm的56×48微透镜列阵。
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