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上传时间: 2021-02-11
详细说明：提出了一种基于衰减全反射原理的实时探测方法。其实验框架由半导体激光器、空间滤波器、聚焦透镜、耦合棱镜、CCD接受装置等组成。激光束先经空间滤波器扩束,再由透镜聚焦,以一定角宽度的光束聚焦于耦合棱镜底面,由于棱镜底面的波导结构,在反射光斑中会出现若干条吸收峰,即显示出标志波导模式的一组黑线,若外界条件变化时(如紫外光照射、电极化等),波导薄膜某些参量会受外界条件的变化而变化,表现为黑线的移动,可根据黑线的移动量,精确测量每一时刻波导薄膜的折射率和膜厚等参量。利用这种技术,可以广泛地用于条波导制作、镀膜监控、薄膜极化监控、工业气体浓度监控等领域。
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