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上传时间: 2021-02-11
详细说明：采用X切LiNbO3基片,设计并研制了脊形结构集成电光Mach-Zehnder(M-Z)波导调制器,实验研制过程包含关键的LiNbO3基片湿腐蚀刻槽技术和大厚度电极制作技术.研究结果表明,脊形结构调制器与传统的平面结构调制器相比,在大幅度提高调制带宽方面,有着明显的优越性.
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