文件名称:
不连续金属薄膜对短波长软X射线多层膜反射特性的影响
开发工具:
文件大小: 945kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-11
详细说明：讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系,修正了文献中的评估方法,并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软X射线多层膜光学特性分析模型。
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