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上传时间: 2021-02-11
详细说明:提出一种使用自聚焦透镜构成的光强度调制的光学位移测量原理,利用发光二极管作光源,光从第一根自聚焦透镜发出,然后受到反射镜的反射而进入第二根自聚焦透镜,当反射镜有小位移时,进入第二根自聚焦透镜的光强度被调制,用光电管检测光强度的变化,可以确定位移的大小。根据该原理,位移分辨率的理论值可达10-9m,实验测量的位移分辨率为10-8m。该原理亦可用于测量小振动和压力等量。
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