文件名称:
3.39 μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径方法的研究
开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-10
详细说明：在介绍了3.39 μm双波长拍波干涉仪测量原理的基础上，提出了激光瞄准大型工件内外径测量点和3.39 μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径的新方法，给出了瞄准定位的实验结果，并对测量系统的误差进行了分析。分析表明:测量系统测量10 m直径时，其测量误差小于0.03 mm。
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