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上传时间: 2021-02-10
详细说明：介绍了一种高精度的光电探测器线性测量系统,讨论了线性测量的方法,确定以光束叠加法为线性测量系统的基础。设计了测量系统,以944 nm激光器为光源,测量了Si陷阱探测器和InGaAs陷阱探测器的非线性因子。实验结果表明,利用该系统在0.1～200 μW的入射光功率范围内。Si陷阱探测器非线性因子平均值小于0.009％,联合不确定度小于3.18%; InGaAs陷阱探测器非线性因子平均值小于0.6％,联合不确定度小于6.87％。实验结果证明该系统可以作为高精度光电探测器线性测量装置。
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