文件名称:
基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型微流控器件的制备
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文件大小: 664kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-10
详细说明：为了方便、快速、低成本地检测样品，提出一种内嵌光纤型微流控芯片的制备方法。利用248 nm的KrF准分子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上进行微加工，构建芯片结构，并嵌入腐蚀过的直径35 μm的单模光纤，从而形成内嵌光纤型芯片。探讨了准分子激光加工参数以及嵌入光纤的方法。结果表明，用准分子激光加工芯片，可控性好、简便可靠、加工过程可实现无人化。内嵌光纤实现了光纤的相互对准以及光纤对流道中央的对准，可以灵敏地获取样品的光学信号。
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