文件名称:
用于大尺寸样品微纳米检测的新型原子力显微镜系统研究
开发工具:
文件大小: 2mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-10
详细说明：提出了一种对大尺寸样品实现大范围、高分辨的原子力显微镜(AFM)扫描成像的新方法，并建立了相应的软硬件检测系统及装备。该方法设计了独特的AFM扫描成像探头。采用全新的光点跟踪探测光路实现了大范围高精度的纵向反馈控制和横向扫描成像，同时设计了开放式的样品台和微探针扫描结合步进电机移动的扫描方式，可对大尺寸(最大可达300 mm×300 mm)，大重量(0～20 kg)样品表面进行微纳米扫描检测。利用该型AFM系统对实际样品进行扫描，获得了大范围(1 μm×1 μm～20 μm×20 μm)高分辨(横向分辨率0.2 nm，纵向分辨率0.1 nm)的AFM图像。实验结果表明，该方法适用于大型超精密工
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
