文件名称:
静电驱动连续面形微机电系统变形镜的制作
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文件大小: 3mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式，设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统（MEMS）变形镜(DM)，并用ZygoNewView7300白光干涉仪对样片的静态特性和动态响应特性进行了测试。静态测试结果表明，器件在150 V电压下的最大形变量为0.667 μm，相邻单元之间的交联值为9%，镜面位置重复性为10%。动态测试结果表明，器件对正弦驱动信号的响应时间小于30 μs，响应曲线近似为一条余弦曲线，谐振频率为36 kHz。该变形镜可用于自由空间光通信、激光光束整形、波前畸变校正、投影显示、生物医学成像和人眼视差校正等重要领域。
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