文件名称:
长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正
开发工具:
文件大小: 3mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：为了提高使用长程轮廓仪对筒状超光滑非球面进行面型测量的精度，研究并总结了测量过程中常见的误差源及校正方法。针对测量过程中对结果影响较大的转台转轴与待测筒状镜光轴之间的倾斜和偏心误差做了详细的分析，提出利用数据处理校正这部分误差的方法。编写了相应的数据处理程序，通过数值模拟实验对该程序进行了验证。实验结果表明，该程序能够有效去除转台转轴与待测镜之间倾斜和偏心产生的系统误差，提高长程轮廓仪用于筒状镜面型测量时的测量精度。在转台转轴与待测镜之间具有5 μm的偏心和大约1′的倾斜时，使用该程序还原50 nm量级的面型轮廓，还原精度为均方根值(RMS)2.8 nm，峰谷值(PV)18.5 nm。
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