文件名称:
基于氮氧化硅与聚合物混合集成低功耗全内反射热光开关
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文件大小: 3mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：利用具有相反热光特性的氮氧化硅(SiON)与聚合物材料，采用混合集成技术设计了一种低功耗全内反射（TIR）热光波导开关。该光开关通过在两交叉的氮氧化硅波导芯的X结中心部分制作一个深度等于波导芯厚度的狭缝，并在其中填充与波导包层相同的聚合物材料，同时在狭缝聚合物上方制作加热电极来实现开关功能。理论分析表明，通过选择与氮氧化硅折射率相匹配的聚合物材料，并优化设计单模光波导尺寸，两交叉波导间的夹角、所开狭缝的宽度以及相应的加热电极结构，对于1550 nm的工作波长，开关的驱动功率在低至2.3 mW时仍可实现消光比均大于36 dB，串扰均小于-36 dB的TE与TM模式。
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