文件名称:
大口径离轴碳化硅非球面反射镜加工与检测技术研究
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：分析了碳化硅作为空间反射镜材料的各种优点，研究了加工和检测离轴碳化硅非球面反射镜的各项关键技术。利用自行开发的非球面加工中心FSGJ-2对离轴碳化硅非球面进行了研磨、抛光和轮廓测量，分析了计算全息补偿检测离轴非球面的基本原理，并专门设计研制了计算全息衍射检测装置，对大口径离轴非球面反射镜进行了零位补偿干涉测量。结合工程实例对一口径为468 mm×296 mm的离轴碳化硅非球面进行了超精加工与检测，最终面形误差峰谷(PV)值为0.148λ，均方根（RMS）值为0.017λ（λ=632.8 nm），达到了良好的效果。
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