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上传时间: 2021-02-09
详细说明：空间激光通信常采用干涉截止滤光膜对不同波段的光谱进行分光。着重介绍了近红外三波段光学滤光片的研究与制备。根据膜系设计理论，分别选择TiO2和SiO2作为高、低折射率材料，借助膜系设计软件设计优化了合理的膜系，实现了770~860 nm及1530~1575 nm光谱范围双波段的高透过和1615~1700 nm波段的高反射。采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。优化工艺参数，通过调整补偿挡板使膜厚均匀性控制在3%以内。虽然制备膜层较厚，但经检测其光学性能、机械性能及耐环境能力均满足使用要求。用轮廓仪检测所制备膜层的面形，其峰谷值变化达到预期要求。
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