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上传时间: 2021-02-09
详细说明：为满足紫外告警系统成像需要，实现对太阳光谱盲区光子图像接受检测的作用，研制了一种紫外成像滤光片。采用电子束(EB)加热蒸发和离子辅助沉积(IAD)的方法，在熔融石英(JGS1)基底上镀氧化铪、氟化镁、紫外二氧化硅等薄膜材料，并借助石英晶体振荡法和光电极值法相结合的方式监控膜层厚度，镀制了满足入射角0°~25°范围内240~280 nm波段透射、300~620 nm波段抑制的紫外滤光片。通过对膜系优化设计和工艺参数的研究，解决了薄膜脱膜、膜厚的精确控制、材料的吸收等问题。制备的滤光片经膜层性能测试，基本满足告警系统的要求。
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