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上传时间: 2021-02-09
详细说明：相比于传统的时域移相干涉术(TPSI)，同步移相干涉术(SPSI)能够抵抗振动等时变干扰因素的影响，但其普遍采用的分光和偏振移相结构给测试系统引入了新的误差。提出一种系统误差校正方法，在同步移相测试系统中将球面被测件离焦得到圆载频干涉图，使用圆载频处理技术获得每步移相干涉图的能量和相位信息，为引导对系统中的分光不一致、移相量不准确、干涉图空间位置不匹配三项重要的系统误差进行独立校正，各项误差之间不会相互干扰。该方法的可行性通过数值仿真和实验进行了验证，可用于所有采用分光结构的同步移相干涉系统。
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