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上传时间: 2021-02-09
详细说明：紫外光通信作为一种新型通信手段，以其保密性高、抗干扰能力强等优点在军事领域得到越来越广泛的重视。为满足紫外光通信系统的要求，在210 mm的石英基底上，制备了254 nm，反射率大于95%，280~600 nm平均透射率大于98%并满足角度12°~30°的滤光膜。通过对几种常见紫外材料进行对比研究，选定HfO2和MgF2作为高低折射率材料。以膜系设计理论为基础，通过膜堆的叠加来展宽反射带，结合针法优化，设计出滤光膜的膜系。在薄膜制备中，通过优化各项工艺参数减少了吸收，使用离子辅助沉积提高了成膜质量，并通过对工艺参数重复性的精确控制，提高了膜厚的控制精度。实验结果显示制备的滤光膜满足要求。
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