文件名称:
一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上，采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺，设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点；理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率，并利用ANSYS有限元软件进行仿真；设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统，对研制出的MEMS扫描镜(7.1 mm×5.2 mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性，对其谐振频率进行实际测量。同时，为验证其所测谐振频率的准确性，利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试。在工作电压10 V，方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556 Hz和596 Hz时，机械扫描角度分别可达到约6°和5°，谐振频率分别约为300 Hz和277 Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
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