文件名称:
提高轮廓仪对大曲率半径表面形貌测量精度的研究
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：结合超精密制造技术，讨论了轮廓仪测量大曲率半径表面形貌存在的精度缺陷。提出了利用NIKON Autocollimator 6D自准直仪辅助Form Talysurf PGI 1250A以提高轮廓仪测量精度的改进方法。当自准直仪的光轴与样品顶点的法线共轴时，旋转样品其顶点的法线方向不变，因此自准直仪的反射像位置也不会变，并且自准直仪有很高的精度，从而可将其用于寻找顶点。基于相关参数对提高轮廓仪测量精度进行了理论计算和Zemax模拟。搭建实验装置对不同曲率半径的样品进行测量，与改进前实验结果进行对比，证明了轮廓仪测量精度提高到原来的2～4倍，适用于测量大曲率半径表面形貌，验证了改进方法的合理性和有效性。
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