文件名称:
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法
开发工具:
文件大小: 3mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-09
详细说明：在曝光线宽为90 nm节点的投影光刻机照明系统中，针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题，用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析。结果表明，平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某区域透射率存在矛盾，制约了照明光束均匀性的提高。为此，提出了非平行反射扩束镜组，推导了出射光束尺寸、叠加子光束个数与两反射镜楔角之间的关系式，确定了楔角的取值范围和扩束单元的结构形式。通过建模分析，验证了设计的扩束单元在实现光束一维扩束的同时，不仅减小了叠加光束的干涉散斑效应，还提高了光束均匀性。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
