文件名称:
基于直接相位解调的双光纤法布里珀罗位移传感器
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明:条纹计数法解调精度受限,而常用的高精度外差调频解调法(如相位生成载波法、线性调频法),在光源调频过程中伴生有幅度调制并且调制解调系统复杂。提出了一种基于双光纤光路相位解调的法布里珀罗(F-P)位移传感器,原理上省去了光源调频过程,在提高检测精度的同时,成本与条纹计数法相当。与已有报道的双光路结构不同的是,该传感器对两干涉光路之间相位差无严格要求,安装调节简单,降低了传感器的工艺难度。位移测量实验结果表明,该传感器在0~500 μm的测量范围内,线性度为1.1%,误差限值为±3 μm。
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