文件名称:
飞秒激光扫描不同温度下的硅片诱导形成微结构的差别
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：不同温度下利用钛宝石激光器输出的飞秒激光脉冲(脉宽42 fs，中心波长800 nm，最大单脉冲能量3.6 mJ)，通过扫描方式在硅表面诱导产生表面微结构。采用光学显微镜和扫描电镜观察飞秒激光诱导硅表面微结构的形貌，发现不同温度下硅片表面形成的微结构区域和形貌出现明显的差异。根据观测结果，分析比较了不同温度条件下硅材料微结构形成的能量阈值。随着温度升高，形成的微结构区域减小，飞秒激光诱导形成硅表面微结构的能量阈值升高。这对于研究飞秒激光与物质的相互作用有一定的参考价值，也能对将来实现硅表面微结构的制作提供参考。
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