文件名称:
用湿化学蚀刻法制造的GaAlAs短腔激光器
开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-08
详细说明：使用化学蚀刻新工艺，已制造出阈电流为30亳安的GaAlAs短腔条形激光器，该工艺采用了多层金属掩模。这种激光器长为23微米，宽为12微米，在蚀刻面上没有反射涂层。在脉冲条件下获得了准单模运转。
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