文件名称:
基于线扫描相位差分成像的光学元件激光损伤快速检测技术
开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-08
详细说明：将暗场照明应用到线扫描成像中，提出了一种用于光学元件激光损伤的检测技术。该技术基于相位差分原理，只对引起相位变化的激光损伤区域有响应，因此检测图像具有高对比度。分析了该技术的原理，并从实验上验证了该检测技术的特性。实验研究表明该技术能够获得高对比度和高分辨率的激光损伤图像，且具有快速检测大口径光学元件激光损伤的能力。
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