文件名称:
高亮度大功率宽条形半导体激光器腔面氮氢钝化研究
开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-08
详细说明：提升宽条形半导体激光器腔面抗光学灾变（COD）能力，改善宽条形半导体激光器的输出工作特性，一直是高亮度大功率宽条形半导体激光器器件工艺研究的核心。基于氮氢混合气体的等离子体反应钝化原理，通过AlN高效导热薄膜作为腔面钝化保护层，实现器件最大输出功率提高达66.7%；连续电流工作时，3.5 W功率输出的情况下，其千小时退化率小于0.73%。
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