文件名称:
高精度瑞奇康芒检测法研究及测试距离精度影响分析
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上传时间: 2021-02-08
详细说明：为实现高精度瑞奇康芒法检测，利用检测系统光瞳面与被测平面镜二者间的坐标转换关系，结合最小二乘法直接对测得的系统波像差进行恢复，通过两角度检测分离由光路调整引入的离焦误差，得到更为精准的平面镜面形。分析光路中测试距离对坐标转换关系以及瑞奇角求解精度的影响，根据仿真分析结果确定实验方案。实验中采用两角度检测，对测试波前进行恢复并分离系统调整误差后，最终得到被检平面镜面形，结果峰谷(PV)值为0.182λ、均方根(RMS)值为0.0101λ，对比干涉仪直接检测结果PV值为0.229λ、RMS值为0.013λ，PV检测精度优于λ/20，RMS检测精度优于λ/100，实验结果证明了此种面形恢复方法的有效
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