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上传时间: 2021-02-07
详细说明：为了解决非球面及自由曲面的高精度检测问题，基于二元光学计算机全息图(CGH)模型基础，分析了该模型下相位型CGH 各项误差对CGH 检测精度的影响，同时结合工程实例，针对口径为846 mm×630 mm 的自由曲面，设计了相应的相位型CGH，并实验验证了该设计的可行性。结果显示：在设计时应先将相位型CGH 的各个衍射级次进行分离；改变CGH 到干涉仪焦点距离以减小刻画畸变同时保证CGH 尺寸；再将基板误差检测出来，并代入设计结果进行补偿标定；最后在编码时将占空比选择为0.5，刻蚀深度选择在0.3λ 减小占空比误差、相位函数误差和振幅误差。
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