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文件名称: 大口径非球面透镜支撑方法的优化
  所属分类: 其它
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  文件大小: 6mb
  下载次数: 0
  上传时间: 2021-02-07
  提 供 者: weixin_********
 详细说明:大口径光学镜面检测系统常常需要透镜元件。透镜元件由自重引起的表面变形严重干扰了系统成像质量, 优化设计合适的支撑方案获得较小的变形量是较为关键的工作。针对某检测装置中直径为1.5 m的透镜进行研究, 使用三维绘图软件Solidworks和有限元软件Ansys模拟透镜支撑点的位置和力的大小, 通过实验设计软件Design-Expert以及Ansys中的OPT模块进行优化, 选定最佳的设计方案, 借助Zernike多项式拟合出透镜前后表面的面形。结果表明: 透镜两个表面变形量的均方根(RMS)值分别为1.85 nm和3.28 nm, 波峰-波谷值分别为9.4 nm和24.4 nm, 透镜的整体变形量引起的透射波前像差RMS值为0.998 nm, 满足镜面检测对于透镜的精度要求。
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