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上传时间: 2021-02-06
详细说明：在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面, 或者离子注入在硅中引入硫族元素等方法，可在硅表面得到具有奇特光电性质的微米量级尖锥结构，该微锥结构被称为黑硅。这一新材料有奇特的光电性质，如对0.25～17 μm波长的光有强烈的吸收，具有良好的场致发射特性等, 为硅提供许多新的功能。Mazur教授预言这种新材料相当于60年前的半导体，在探测器、传感器、显示技术及微电子等领域都有重要的潜在应用价值，尤其在高效太阳能电池领域具有其他材料无可比拟的优越性。本文介绍了超快激光微构造硅的形成机理，研究进展、光电特性以及应用前景。
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