文件名称:
正弦相位调制自混合干涉大范围位移测量精度测试与分析
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上传时间: 2021-02-06
详细说明：介绍了正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量原理、光路搭建和信号处理方法。正弦相位调制由外腔中的电光晶体引入，调制后的自混合干涉信号采用傅里叶分析的方法完成相位解调。这项技术已经应用于纳米精度微位移测量，为了拓展其应用领域，将该技术应用于大范围位移测量。在实验过程中，使用自混合干涉仪和Agilent 5529A校准仪同时对大尺度和小尺度范围内的位移进行测量，通过比较测量结果来检验干涉仪的性能。实验结果表明，在普通的实验室噪声环境中，自混合干涉仪在毫米范围内的位移测量精度在亚微米量级，在微米和纳米范围内的位移测量精度分别可以达到18 nm和7 nm。并分析了位移测量过程中的误差来源，分析结果与实
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