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上传时间: 2021-02-06
详细说明：报道了248 nm 准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了248 nm 准分子激光光能量分布的彩色图像，使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算，通过光学软件ZEMAX 模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源。通过分析空间光能量分布特征，设计并加工出一套适用于248 nm 准分子激光的微透镜整形均束装置，且理论模拟和实际测试结果相吻合。248 nm 准分子激光通过该光学系统整形均束后，可以在工作平面上得到一个约18 mm×18 mm 的正方形光斑，光斑的能量均匀度误差(加工窗)在±2％ 以内，平顶因子为0.90，光能量通过率为85%左右，解决了248 nm 准
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