文件名称:
环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析
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上传时间: 2021-02-06
详细说明：环境温度变化是影响夏克哈特曼波前传感器（SHWS）测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能，分析了环境温度变化引起的微透镜阵列（MLA）变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件（CCD）间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响。分析计算得出，环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素，环境温度在21~24 ℃内每增加1 ℃，给测量结果带来的误差[均方根（RMS）]约为0.52 nm 。通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证，实验结果和仿真分析结果基本一致。
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