文件名称:
基于四分之一波片的菲佐型同步移相干涉测量方法
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上传时间: 2021-02-06
详细说明：为了实现干涉测量平面的抗振，提出了一种同步移相干涉测量方案并搭建了实验装置。整个测量系统在菲佐移相干涉仪的基础上，利用四分之一波片作为参考镜，获得一对正交偏振光，经过棋盘相位光栅分光，利用光阑选取对于理想光栅衍射效率一致的(±1，±1)级衍射光作为测量分光路，使之先后通过相位延迟阵列和偏振片获得4幅移相量依次为π/2的干涉图。按照传统的4步移相算法，对被测波面进行了复原。分析了光强畸变和移相误差对系统测量误差的影响。与泰曼型同步移相干涉测量相比，该方案可以简化系统结构，减小系统误差，并且更易装校，更适合用于平面的测量。
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