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上传时间: 2021-02-06
详细说明：本文报告了一个检测低频小位移的方案,以塞曼双频激光器为光源,用迈克尔逊干涉仪进行检测.为克服低频噪声影响,采用伺服环路锁定干涉仪光程差,且用拍频技术检测信号,对于3.3kHz的信号,检测最小位移达0.005nm.
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