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上传时间: 2021-02-06
详细说明：为实现使用Hartmann-Shack(哈特曼夏克)波前传感器对高分辨率物镜进行高精度检测，提出了使用二维插值多项式替代泽尼克(Zernike)多项式为重构基底对被测波前进行模式重构的方法。为了验证方法的可行性，仿真高分辨率物镜设计波像差为待测波前，得到重构误差均方根(RMS)值为0.0609λ。模拟理想球面波为待测波前，重构精度随拟合阶数增加稳定变化。经过重构正弦波前、余弦波前、非球面波前以及含有低阶球差、彗差、象散、场曲和畸变等像差的一般波前，进一步对比了Zernike多项式和二维插值多项式为基底的重构精度，得到了一种较Zernike多项式拟合精度更高更稳定的模式重构基底。
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