文件名称:
频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法
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上传时间: 2021-02-05
详细说明：频率扫描干涉仪对测量过程中光程差的漂移非常敏感，目标镜的微小位移会被放大几千倍，使得测量结果严重失真，因此必须消除或减弱漂移误差。针对现场测量中目标镜的低频振动或缓慢漂移，根据光频连续正反向扫描测量值漂移误差放大项大小近似相等、符号相反的特性，提出了一种光频连续正反向快速扫描的漂移误差补偿方法，并进行了频率扫描干涉仪漂移误差补偿实验，分析对比补偿前后的实验结果，验证了该方法的可行性。实验结果表明，在测量距离约1543.3 mm处，目标镜振动频率为4.7 Hz，振幅为1 μm，采用补偿后，连续40次采样测量的标准差由补偿前的51.9 μm下降到8 μm。
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