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上传时间: 2021-02-05
详细说明：椭球形窗口的检测技术严重阻碍其成功应用。首先简要介绍了目前普遍使用的非球面检测技术，并针对椭球形窗口大倾斜、大偏心、深非球面的特点，基于零位补偿检测法原理，设计了一种适合椭球形窗口检测的改进型Offner零位补偿检测系统。检测系统包括补偿镜、场镜和标准球面参考镜，检测系统工作原理为：干涉仪出射平行光线通过补偿镜及场镜产生修正波前，通过椭球形窗口照射到标准球面反射镜，并按原光路返回与参考光线干涉，其干涉结果显示出椭球形窗口的面形偏差。实现了对椭球形窗口的高精度全口径一次检测并给出了完整的设计结果。检测了长径比为1.0，口径为110 mm的椭球形窗口，其波前残余波像差均方根值为0.0052λ。设计
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