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上传时间: 2021-02-05
详细说明：基于计算全息（CGH）的零位干涉检验是非球面检测的主要方法之一。采用共轴计算全息有很多优点，但其中心区域因形成鬼像而无法检测。为消除鬼像对测量的影响，采用离轴计算全息和改进的泰曼-格林干涉装置，将离轴CGH置于成像臂，对测试光进行二次补偿并在垂轴方向分离各衍射级次，通过倾轴和滤波选取0级参考光和-1级测试光发生干涉，对一块高次非球面进行了检测，其中非球面的波差由标准球面透镜组和离轴CGH共同进行补偿。作为对比，采用Zygo干涉仪和共轴CGH检测了同一块非球面。实验结果表明在成功消除鬼像的同时，两种方法的测量数据保持了良好的一致性，这一技术也可用于大口径非球面的高精度检测。
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