文件名称:
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量
开发工具:
文件大小: 3mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-05
详细说明：光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多，用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵，并对其进行奇异值分解，对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析，确定各失调量之间的相关性，提出了系统补偿量的选择方法，该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算，验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后，对系统进行了仿真预装调，以确保补偿方案的可行性。实验结果表明，补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70 nm降低到29.6 nm，优于技术指标要求，证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
