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上传时间: 2021-02-05
详细说明：针对传统差分平面镜干涉仪结构复杂、需要光学部件多从而导致系统调试困难、测量信噪比低等缺点，提出了一种结构简单需要光学部件少的新型差分平面镜干涉仪系统。此干涉仪能够产生对称的空间四光路，对环境因素（湿度、温度及大气压）的变化有很好的抗干扰能力，测量分辨率高。如果附加其他光学元件，可轻易实现对偏摆角、微滚转角、直线度等几何量的测量。静态状态下，其位移漂移小于1 nm，而同等条件下传统迈克耳孙干涉仪漂移大于10 nm。基于此系统的精密角度测量干涉仪，使用电子细分为2π/516的相位计，可以得到0.024 μrad的测量分辨率。
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